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彩色系膜層和常規(guī)色膜層最大的區(qū)別就是C值和H值,所以可以說,黑色也是彩色系膜層。
鋯+氮?dú)猓狐S綠調(diào)金黃色
鋯+甲烷:深淺黑色
鋯+氧氣:白色、透明膜
鋯+氮?dú)猓淄椋航鹕⒎旅倒褰?/p>
鉻+甲烷:深淺黑色
鉻+氮?dú)猓簻\黑色
鉻+氮?dú)猓淄椋恒y灰色
鉻+氧氣:輕黃色、紫色、綠色
SUS+氧氣:紫色
SUS+氮?dú)猓核{(lán)色
SUS+甲烷:亮黑色
SUS+甲烷+氮?dú)猓核{(lán)黑色
硅+氮?dú)猓汉谏?br style="margin: 0px; padding: 0px;"/>硅+氧氣:混濁白、透明膜
硅+甲烷:黃色、綠色、藍(lán)色、黑色(靶材純度高于99%僅能調(diào)黑色)
鈦+氧氣:光學(xué)膜七彩截色,不多介紹都懂。
鈦+甲烷:深淺黑色( DLC制備不能達(dá)標(biāo))
鈦+氮?dú)猓悍陆鹕?、黃銅色、紫色、紅色
鈦+氮?dú)猓淄椋悍旅倒褰?、黑綠色、復(fù)古黃、棕色、紫色
鎢+氮?dú)猓鹤攸S色
鎢+甲烷:深淺黑色
鎢+氧氣:紫色,鮮黃色,棕色,藍(lán)色
以上僅裝飾薄膜常用材料及其常用氣體,通常甲烷和乙炔都可互替,但涉及部分顏色甲烷效果更好。除以上常用材料外,
金屬靶材還有鎳、鋁、鉭、鉿、錳、銅、鋅、銦、錫、等,均有在鍍膜中使用。多質(zhì)靶材如鈦鋁、鉻鋁、鈦鋯、銅錳、鎳鉻、硅鋁、釩錸、鎢鉬等等。
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