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PVD真空鍍膜是一種物理氣相沉積法,是指在真空環(huán)境下,采用低電壓、大電流的電弧放電技術(shù),利用氣體放電使靶材蒸發(fā)并使被蒸發(fā)物質(zhì)電離,在電場的作用下,使被蒸發(fā)物質(zhì)或其反應(yīng)產(chǎn)物沉積在工件上面的薄膜制備技術(shù)。PVD鍍膜技術(shù)分為蒸發(fā)鍍、濺射鍍和離子鍍?nèi)N,都可稱之為PVD鍍膜。
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